现在的X射线荧光光谱仪所提供的操作软件基本上都具备智能化功能，当你选定要测试的元素时，能自动给出相应的工作参数和测试条件，但这些测试条件基本上都是比较通用的，测试效果并不一定很理想。因此，在选择工作参数和测试条件时，必须依据具体的试样和分析要求对工作参数和测试条件进行最优化处理，才能得到理想的测试结果。每种元素的激发电位和化学性质都不一样，因此分析不同元素使用的工作参数和条件都有所不同。在进行样品分析时，波长色散和能量色散X射线荧光光谱仪对分析条件的选择有很大的差异，波长色散X射线荧光光谱仪通常X射线管使用的电压是激发电压的4～10倍，比能量色散X射线荧光光谱仪的使用电压偏高；光路系统不使用滤光片和二次靶材，而使用分光晶体进行分光，用测角仪对不同角度的X射线荧光进行测试，角度的选择取决于待测元素所选的谱线和分光晶体，这两个条件一旦定下来，2θ角度值等都会固定下来。下面以能量色散X射线荧光光谱仪为例对X射线荧光光谱仪工作参数和条件的选择作简要介绍。

(1) X光管电压和电流的选择 设置的x射线管工作电压和电流的乘积一般不能大于其给出的额定功率，仪器操作软件所推荐的电压和电流，其乘积通常是额定功率，如果经常使用满功率工作，这样会减少靶材的使用寿命。推荐值随不同元素而有所区别，不能根据实际的测试样品类型而自动进行调整。在选择电压时，其必要条件是设定的值必须大于待测元素的临界激发电压，通常能量色散X射线荧光光谱仪使用的电压是待测元素临界激发电压的2～6倍。当测定多种元素时，为获得最佳激发效果，多数情况下选择50kV以上。由于待测元素含量不同电压也有所差异，可以根据具体情况做出调整。电流可以根据样品中待测元素的含量进行选择，一般情况下不采用满功率工作，而应采用满功率的0．7～0．9倍，这有助于延长X射线管的使用寿命。Thermo公司的QUANT’X EDXRF对电压的选择原则为：轻质元素为临界激发电压的3～5倍，过渡元素为临界激发电压的2～3倍，重元素为临界激发电压的1～2倍，当电压不能确定时，可以使用多个电压进行采谱，对谱图进行比较，谱峰越高越尖的测试电压最好。

(2) 分析谱线的选择原则

① 通常选择Kα、Kβ、Lα、Lβ和Mα这几条主要特征谱线，这些谱线是特征谱线中强度相对比较高的谱线，大部分元素其它特征谱线强度较弱所以一般很少用。通常原子序数小于42的元素用K系线，大于42的元素用L系线，部分元素也可以选择Mα系线。

② 在选择谱线时，所选谱线应尽量避免基体中其它元素谱线的干扰。如果一个样品含有比较高的As和Pb，同时测定这两个元素以选择AsKβ线和PbLβ线进行测试，以避免AsKα线和PbLα线之间的相互干扰。

③ 具体选择哪条谱线还与样品的类型和制样方法有关。如果测试样品很松散且比较薄，比较强的X射线荧光容易穿透样品，这时就要考虑使用X射线荧光强度相对较弱的L系或M系谱线，而不选择K系谱线。

(3) 背景的扣除 由于受外界条件的影响，可能对实际测量结果产生很大的偏差，必须对背景进行扣除。背景的产生原因大体可以分为两类。一是由样品本身引起的，激发辐射的散射过程中干扰样品中元素的特征辐射强度；二是由样品产牛的射线与仪器之间相互作用引起的，此外外界的射线和样品中放射性元素也能产生背景。背景对目标元素的检测限和准确度都有比较大的影响，所以要根据实际情况选择合适的扣除背景的方式。目前扣除背景的方式有：理论背景校正法、实测背景扣除法、康普顿散射校正法和经验公式校正法。其中以实测背景扣除法较为常用。

(4) 测量时间的确定 在一定时间范围内，待测样品的检测限与测量时间成反比关系，测量时间的延长，可以降低检测限。当测量时间延长到某一时间后，再延长测量时间对检测限并没有多大改善，通常可以选择这个时间作为测量时间。在实际测试中可以根据待测样品对检测限的要求选择合适的时间。

(5) 滤光片的选择 能量色散X射线荧光光谱仪选择合适的滤光片可以消除或降低来自X射线管发射的原级新射线谱，尤其消除靶材的特征X射线谱对待测元素的干扰，可以改善峰背比，提高分析的灵敏度。滤光片可以滤掉在滤光片材料元素原子序数之前的元素的特征谱线，不同的厂家配置的滤光片材料不一样，可以根据厂家提供的资料进行选择。

(6) 二次靶的选择 选择二次靶也可以对待测元素进行有选择的激发，并降低背景。在激发样品中某一元素的特征X射线时，所选的二次靶的特征X射线能量必须大于待测元素特征谱线的激发电位，这样可以有选择性地激发待测元素，避免共存元素的干扰。不同的厂家配置的二次靶材不同，可根据厂家提供的信息进行选择。