(一)X射线光谱分析的发展

1895年，伦琴发现X射线。

1908年，巴克拉(C.G.Barkla)和沙特拉(Sadler)发现物质受X射线辐照后会发射出和物质中组成元素相关的特征谱线。

1912年，劳厄(M.V.Laue)证实X射线在晶体中的衍射。结合前人的发现归纳X射线是一种电磁波，具有波粒二象性。

1913年，布拉格(W.L.Bragg，W.H.Bragg)父子建立布拉格定律。

1913年，莫塞莱(Moseley)研究了各种元素的特征光谱，发现莫塞来定律，奠定了X射线光谱分析的基础。

1928年，盖革(H.Geiger)等首次提出用充气计数管代替照相干板法来进行X射线的测量。

1948年，弗里德曼(H.Friedman)和伯克斯(L.S.Birks)研制出第一台商用X射线荧光光谱仪。

1966年，布朗曼(Browman)等将放射性同位素源和Si(Li)探测器结合使用。

1969年，伯克斯(Birks)等研制出第一台能量色散X射线荧光光谱仪。

1971年，全反射技术首次应用在少量样品的痕量分析上(Yoneda和Horiuchi)。1974年，偏振技术首次应用于能量色散X射线荧光分析(Y.Dzuhag)。

(二)X射线荧光分析基本原理

X射线荧光分析仪中X光管产生X射线，样品受该X射线照射后，样品中存在的元素发射出能量不同的荧光X射线辐射。通过测定样品发射的辐射能量，就可以确定样品中存在哪些元素，即称为定性分析。通过测定能量的强度可以知道元素的含量，这就是定量分析。

X射线管发出一次高能X射线，照射样品，激发其中的化学元素，发出二次X射线，也叫X射线荧光，其波长是相应元素的标识——特征波长(定性分析基础)；依据谱线强度与元素含量的比例关系可进行定量分析。

X射线荧光分析仪(XRF)首先应用在各种材料化学组成的分析，之后发展到环境监测领域。被测材料可以是固体、液体、粉末或其他形式。XRF还可测定镀层和薄膜的厚度及成分。XRF具有分析速度快、准确度高、不破坏样品及样品前处理简单等特点。

XRF分析的精密度和重现性很高。若有合适的标准，分析的准确度非常高，当然没有标准时也可以分析。测量时间取决于待测的元素数目和要求的精度，在几秒至30分钟间变动。测量后的数据处理时间只需几秒钟。用能量色散X射线荧光分析仪(EDXRF)测得的土壤样品的光谱图，可通过峰的位置确定样品存在的元素、峰的高度确定元素的质量浓度。

文章来源：《危险废物鉴别及土壤监测技术》

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