硫酸（Sulphuric acid,Sulfuric acid）分子式为H₂SO₄，相对分子质量98.08。

1．产品性能

无色透明油状液体。在25℃时密度为1.83g/mL，含量98.3％的硫酸沸点为338℃。硫酸具有强烈吸水性，可作为优良的干燥剂，可从纸、木、布等有机物中按水的组成夺取水使之炭化，甚至着火。由于硫酸溶解热大，在稀释时应将硫酸在不断搅拌下慢慢地加入水中，以免温度猛烈上升。

2．生产方法

BV-I级；由工业品经精馏、超净过滤而得。MOS和低尘高纯级：采用蒸馏法纯化，并经微孔滤膜过滤除去尘埃颗粒得成品。

3．工艺流程

4．生产工艺

(1)工艺一

①稀释。以工业硫酸为原料，经分析后杂质较多，必须经过硫化氢处理。将工业硫酸与水各半混合。注意：稀释硫酸时产生大量热量，因此，要将硫酸逐滴加入水中，并等冷却后才能进行下一步处理。

②通H₂S。将H₂S通入稀释过的硫酸中，用0.Olmol/L KMnO₄做褪色试验，直至KMnO₄溶液褪色，停止通H₂S，静置过夜。

③过滤。用石英砂、下填玻璃布，进行自动过滤，除去硫化物。

④蒸发。将稀硫酸进行加热蒸发，直至冒白烟为止。

⑤蒸馏。将经过浓缩的浓硫酸，吸入特制的蒸馏烧瓶内，同时放少许玻璃丝，装上短的分馏柱，套好长的冷凝管，开始加热进行蒸馏。将初馏液（约为总量的20％）放在容器内留作下次当原料用，中段蒸馏液为成品（约为总量的70％)，残液（约占总量的10％）还可作为原料用。控制好，一次就可以达到高纯级；如达不到产品标准，再行蒸馏一次，即能符合规格。

说明：①符合产品标准的工业硫酸，一次蒸馏即可达到低尘高纯级产品要求。经分析，质量好的硫酸，不必采用H₂S处理去杂质，可直接进行蒸馏。

②生产实践证明，采用蒸馏分馏法提纯硫酸，其效果尤为理想。

(2)工艺二 选用工业硫酸（优等品）为原料，在预处理槽加入适量KMnO₄混合，放置沉降后，将处理后的硫酸加入石英精馏塔釜内，开始电加热，并给精馏塔冷凝器通冷却水，控制回流比，待精馏速度稳定后，收集成品在储罐内。然后在超净工作台内分装成品，包装瓶需在超净条件下清洗，经检查合格后，方可使用。如成品颗粒指标达不到产品标准，需经超净过滤。

说明：①工业硫酸由于杂质含量高，一般呈微黄色黏稠液体，精馏提纯前须经化学预处理，加入氧化剂，如KMn0₄使其还原物质氧化。

②精馏物颗粒指标达不到产品标准，则需在百级超净间内经0.2um微孔滤膜过滤。选择化学稳定性好的玻璃瓶，在超净工作台内洗瓶和分装。

5．产品标准

(2) MOS级产品规格

含量）96.0％-98.0％，杂质最高含量（以10^-6计）：

(3) BV-Ⅰ级产品规格
含量97％，不纯物最高含量（以10^-6计）：

6．产品用途

在电子工业中，用作强酸性清洗腐蚀剂。在集成电路制造工艺中主要用于硅片清洗。可与双氧水配合使用。