为了满足RoHS(电气、电子设备中限制使用某些有害物质指令)筛选的要求，提高工作效率，现在一些仪器厂家推出r微区扫描型X射线荧光光谱仪，此类仪器可以对很小的样品进行测试，也可以对产品的整个面做微区扫描后进行合成，将整个面的元素分布以图像的形式体现出来，通过图像可以很直观地知道待测试元素的分布，从而达到初步筛选的效果。下面以日本HORIBA公司的XGT-5700WR型X射线荧光光谱仪为例对微区扫描型X射线荧光光谱仪进行简单介绍。

微区扫描型X射线荧光光谱仪一般使用大样品仓的设计，采用X射线导管将X射线全反射聚集成细微的X射线束，这样测量区域可以变得很小，但X射线的强度不会减弱，能够提供足够的能量激发目标元素。X射线一边扫描一边照射在样品上从而得到样品透过图像和元素的分布图像。透过图像是通过探测器探测荧光物质发出的X射线，利用探测到的数据和扫描样品时的位置信息在数据处理器上构成图像，并在输出端显示出来。不同的元素使用不同的颜色体现出来，颜色的深浅反映出元素含量的多少。这样对比较大的样品不用破坏可以直接进行面的扫描，通过图像了解目标元素的分布后，进行有选择性的测试，这对测试一些贵重物品来说相当实用。XGT-5700WR型X射线荧光光谱仪设定好扫描的电压、电流、脉冲处理时间、扫描幅度、像素、中心位置、采集元素、元素的能量范围等条件即可进行样品扫描。

微区扫描型仪器最大的优点就是可以对比较小的样品进行筛选分析，也可以对比较大的样品进行面的扫描，测试时不需要对产品进行破坏，就可以掌握元素的分布情况，很大程度上提高了筛选分析的效率。目前此类仪器在进行面的扫描时不能对样品中的元素进行定量，只能通过元素的分布情况完成初步筛选。正由于它的局限性，现在使用的领域并不多，大部分只使用在电路板行业。随着技术的日益成熟，扫描型仪器将成为X射线荧光光谱仪很重要的一个发展方向。