波长色散X射线荧光光谱仪性能指标的测试方法可以参照JJG- 810 -93波长色散X射线荧光光谱仪检定规程，下面着重介绍能量色散X射线荧光光谱仪性能指标的测试方法。

(1) 灵敏度 以HORIBA XGT -700WR为例进行说明，使用纯铜薄片，在真空环境下按以下条件分别测试20s：

① 5元素滤光片，电压50kV，电流0．5mA，Φ3mm的x射线导管；

② Cd元素滤光片，电压50kV，电流1mA，Φ3mm的X射线导管；

③ Cr&Cl元素滤光片，电压15kV，电流0．5mA，03mm的X射线导管；

④ Pb元素滤光片，电压50kV，电流0．1mA，Φ3mm的X射线导管；

⑤ 无滤光片，电压50kV，电流0．5mA，Φ0．1mm的X射线导管。测量CuKαROI=7．82～8．25keV，单位电流浓度的计数率应满足表—1的要求。

(2) 探测器光谱分辨率 仪器处于正常工作状态，用Mn或Mn的化合物在特定电流电压下，测量5．9keV处的MnKα线，最大幅度一半处的谱线宽度即为分辨率，大部分仪器分辨率可以直接读取。通常不同型号的仪器分辨率的测量条件不同，测量电压、电流、环境等都有所差异，具体条件可参考仪器厂家提供的测试方法。表—2列出了Thermo QUANT’X、PANalytical Epsilon5和HORIBA XGT一5700WR能量色散X射线荧光光谱仪探测器光谱分辨率的测量条件及要求。

(3) 检出限 根据测量要求选用与样品体系相同或类似的测量模式，使用不含待测元素的空白样品连续测量多次(一般不少于7次)，多次测量结果标准偏差的3倍即为检出限。

(4) 重复性 在最佳的仪器操作条件下，测量同一个样品多次(一般不少于7次)，多次测量结果的标准偏差即可表述为仪器的重复性。注意测试样品中每种需要测试的分析物的重复性必须进行测试，测试样品含有分析物的浓度要高于检出限的5倍以上。

(5) 准确度 仪器处于正常工作状态，测量参考物质中的分析物，读取仪器的测量值，测量值与参考值的相对误差即可表述为仪器的准确度。

(6) 稳定性 使用与待测物质相同或类似的测量模式，连续测量同一分析物多次(一般不少于20次)，每次测量间隔相同时间，读取每次仪器的测量值，计算其相对标准偏差即可表述为仪器的稳定性。