仪器性能指标的检测十分重要，它保证了测试结果的有效性、准确性、可靠性。新仪器安装调试后，需要对性能指标进行测试，根据测试结果进行验收，当仪器使用一段时间后，为确认仪器状态是否发生变化，也需要对仪器的性能指标进行测试。波长色散X射线荧光光谱仪和能量色散X射线荧光光谱仪由于探测X射线光谱强度的方式不一样，其结构有很大区别，性能指标的检测项目也有所差异。下面分别叙述波长色散X射线荧光光谱仪和能量色散X射线荧光光谱仪的技术性能指标。

(1) 波长色散X射线荧光光谱仪的性能指标 波长色散X射线荧光光谱仪的性能指标包括仪器的精密度、稳定性、X射线计数率、探测器光谱分辨率、仪器的计数线性等。我国于1993年已经颁布了波长色散X射线荧光光谱仪的检定规程，该规程中明确列出了仪器的技术性能指标包括：精密度、稳定性、X射线计数率、探测器光谱分辨率、仪器的计数线性。

① 精密度 精密度是指使用同一方法，对同一试样进行多次测定所得测定结果的一致程度。使用测定结果的相对标准偏差进行量度。

② 稳定性 稳定性表示仪器能够保持工作状态的能力，它可以体现出仪器受周围环境影响的能力。以多次测量的相对极差来表示。

③ X射线计数率 X射线计数率表示在一定条件下，单位时间内探测到的光子的数量。在一定电流范围内，它与电流强度成正比。

④ 探测器光谱分辨率探测器光谱分辨率表示探测器对入射X射线能量分辨的能力，用特征谱线的半高宽值表示。一般探测器光谱分辨率越高，谱线的半高宽值越小，分析物和干扰物的谱线越不容易重叠，即发生谱线干扰可能越小。

⑤ 仪器的计数线性 仪器的计数线性表示仪器在一定的测量条件下，能够测得的最大计数率。用测得的最大计数率与仪器规定最大线性计数率的偏差表示。

(2) 能量色散X射线荧光光谱仪的性能指标 能量色散X射线荧光光谱仪是近十几年才发展起来的仪器，目前主要应用在RoHS指令中对电子电器产品中有害物质的筛选，RoHS指令检测方法IEC62321：2008(Editionl．0)中明确指出了X射线荧光光谱仪的性能指标包括了仪器的灵敏度、探测器光谱分辨率、检出限、重复性、准确度，通常把仪器的稳定性也列入能量色散X射线荧光光谱仪的关键性能指标，定义上与波长色散X射线荧光光谱仪相同。

① 灵敏度 灵敏度指物质单位浓度或单位质量的变化引起响应信号值变化的程度，是用来比较光谱仪的一个重要指标，它确保仪器的校准具有意义。用响应信号的变化量与被测物质浓度或质量的变化量的比值来表示。

② 探测器光谱分辨率 探测器光谱分辨率与波长色散X射线荧光光谱仪的定义一样，用特征谱线的半高宽值表示。表1列出了不同探测器对不同元素Kα线的分辨率及对相邻原子序数Kα线的能量差值。

③ 检出限 检出限是指仪器可以检出被测物质的最小浓度或最小质量，是仪器一个关键的参数，它可以有效判断光谱仪是否在正常条件下工作，是否满足分析物的检出浓度在限量值之下。用空白信号测定值标准偏差的3倍表示。

④ 重复性 同一分析人员在同一条件下测定结果的精密度称为重复性。重复性表征仪器对分析结果可重复操作的能力，它是证明测试方法处于统计控制的一个重要参数。使用测定结果的相对标准偏差进行量度。

⑤ 准确度 准确度用来衡量仪器测量值偏离参考值的程度，是分析过程中系统误差和随机误差的综合反映，它决定着分析结果的可靠程度。用测定值与真值或标准值的相对误差来量度。

下面将Thermo QuANT’X、PANalytical  Epsilon5和HORIBA  XGT-5700WR能量色散X射线荧光光谱仪的技术性能对比列出，见表2。

式中σ(BG)——背景强度的标准偏差；

σ(ROI)——RoI强度的标准偏差；

σ(Fitting)——伴随波峰分离的计算误差；

σ(Correction)——各修正计算的误荠；

α——曲线的斜率。