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平晶测量时平面度方向的确定

发布时间:2019-04-27 00:00 作者:中国标准物质网 阅读量:2101

平面无论是凸起或凹下,或者凹凸不平,用平晶去测量时,都会出现干涉条纹或光圈,通过干涉条纹的弯曲程度或光圈的个数计算出凸起或凹下或凹凸不平的数值,即计算出平面度值。但是,怎样判定被测面是凸,是凹,还是凹凸不平呢?即被测面的平面度的方向如何确定?这是使用平晶测量中很重要的问题。

可以通过判定高低干涉条纹和高低光圈的方法来确定平面度的方向。为此,特做如下约定:如果被测面是凸起,则出现高干涉条纹(高光圈),其平面度值为正(+);如果被测面是凹下,则出现干涉条纹(低光圈),其平面度值为负(-)。也可以从光圈的颜色变化来识别高低光圈。判定高低条纹(光圈)的方法见表1.4.19,表图中的黑点为加力点的位置投影。

表1.4.19 识别高低条纹(光圈)的方法

根据识别高低条纹(光圈)的方法求出图1.4.27(a)和图1.4.27(b)的平面度。从图1.4.27(a)中可看到,干涉条纹弯曲方向背向加力点,说明是高条纹,所以被测面是凸起的。根据目估,干涉条纹的最大弯曲量h与干涉条纹间距H的比值h/H=2/3,白光的平均波长λ=0.58um。故该平面的平面度值△为

在使用平晶中,最常用的是白光,有时还用到其他颜色的光。可见光光波的波长入如下。

白光:0.58um;红光:0.63um~0.77um;

橙光:0.6um~0.63um;黄光:0.57 um~0.6 um;

绿光:0.5um~0.57um;青光:0.45 um~10.5um;

蓝光:0.43um~0.45um;紫光:0.39 um~0.43 um。

图1.4.27(b)的情况是,当在平晶的直径中心上施加压力时,2个光圈逐渐向中心移动,故说明是低光圈,所以被测面是凹下的,其平面度值δ为

读取光圈时,应从垂直于被测面读取,如不在垂直方向读取则会产生误差,应对读数结果进行修正:

式中:N为在垂直位置观察时的光圈数(个);N'为与垂直方向成倾角口位置观察到的光圈数(个),如图1.4.30所示。


图1.4.30 从不同位置读光圈示例

例如,N'=2个,a=45o时,则

文章来源:《计量器使用与维护》

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