1. HID分析SF₆中痕量氟化物杂质

HID分析SF₆中杂质气相色谱图见图3.65。

图3.65  HID分析SF₆中杂质气相色谱图

图中峰分别为：1-空气;2-CF₄;3-SF₆;4-C₃F₈;5-SO₂F₂ ; 6-SOF₂ ; 7-S₂F_l0O

2.氦离子色谱仪在超高纯氨中杂质分析

上海爱华色谱分析技术有限公司方华等对超高纯氨中杂质进行分析，其关键技术装置除了气相色谱仪外，配置十通阀和四通阀各一只，按图3.66进行管道连接。

图3.66  HID法分析超高纯氨的色谱流程图

十通阀和四通阀与气相色谱仪的连接起到分离基体氨气对杂质分析的干扰(切割后排放或吸附反吹方法)作用。分析比较韩国和中国超高纯氨的色谱图(图3.67)。

图3.67  (左)韩国和(右)中国生产超高纯氨中杂质分析图

数据结果见表3.25(单位为ppm)：

表3.25  比较韩国与中国超高纯氨的数据

2005(含)后的高纯(电子)气体分析部分文章见表3.26。

表3.26  2005年(含)后的高纯(电子)气体分析