质谱法在痕量分析中是一种重要的检测方法，将待测物质的原子或分子转变成带电粒子，通过质量分析器，利用稳定的磁场或交变电场使带电粒子按照荷质比大小进行分离，检测其强度后进行物质分析的方法。20世纪80年代中期发展起来的电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS )是一种新的痕量或超痕量仪器分析方法。利用电感耦合等离子体使样品气化，将待测金属分离出来，从而进入质谱进行测定。ICP-MS的检出限为10^-12～10^-9级。综合了等离子体极高的离子化能力和质谱的高分辨、高灵敏度及连续检测多元素的优点，质谱图相对简单，容易获取同位素元素比值的信息等。

ICP-MS由作为离子源ICP焰炬、接口装置和作为检测器的质谱仪三部分组成。ICP-MS所用电离源是电感耦合等离子体，其主体是一个由三层石英套管组成的炬管，炬管上端绕有负载线圈，三层管从里到外分别通载气、辅助气和冷却气，负载线圈由高频电源耦合供电，产生垂直于线圈平面的磁场。如果通过高频装置使氩气电离，则氩离子和电子在电磁场作用下又会与其他I原子碰撞产生更多的离子和电子，形成涡流。强大的电流产生高温，瞬间使氩气形成温度可达10000 K的等离子焰炬。被分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入氩气流中，然后进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区，等离子体的高温使样品去溶剂化、气化、解离和电离。部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统，在真空系统内，正离子被拉出并按照其质荷比分离。在负载线圈上面约10 mm处，焰炬温度大约为8 000 K，在高温下电离能低于7 eV的元素完全电离，电离能低于10.5 eV的元素电离度大于20%。由于大部分重要的元素电离能都低于10.5 eV，因此都有很高的灵敏度，少数电离能较高的元素，如C, O, Cl, Br等也能检测，只是灵敏度较低。

目前“ICP-MS”的概念己经不仅仅是最早起步的普通四级杆质谱仪（ICP-QMS )，它包括后来相继推出的其他类型的等离子体质谱技术，如多接收器的高分辨磁扇形等离子体质谱(ICP-MC/MS )、等离子体飞行时间质谱仪（ICP-TOF/MS )以及等离子体离子阱质谱仪等。四级杆ICP-MS仪器也不断升级换代，动态碰撞反应池（DRC)等技术的引入，分析性能大大改善。各种联用技术，如液相和气相色谱以及毛细管电泳等分离技术与ICP-MS的联用，激光剥蚀ICP-MS等联用技术发展迅速。这些ICP-MS较新技术除了大量引用于元素分析外，在同位素比值分析、形态分析等方面的研究和应用也非常活跃。每年都有大 量文章发表，尤其是应用性文章数量激增，有关ICP-MS的评述性文章很难包罗万象，而以某些专题介绍的文章越来越多，如ICP-MS测定同位索比值的精密度和准确度评述，LA-ICP-MS的研究现状和最新发展趋势，ICP-MS在痕量元素分析和形态分析方面的进展等。

ICP-MS在实际推广应用中主要缺点是仪器昂贵，仪器运转维持费用高。但在常规大批水样和多元素分析时， ICP-MS具有很大的优势。同时由于ICP-MS具有很好的准确性和精密度，可作为参照方法来衡量新技术的准确性。ICP-MS的检出限是针对溶液中溶解物质很少的单纯溶液而言的，若涉及固体中浓度的检出限，由于ICP-MS的耐盐量较差，ICP-MS检出限的优点会变差多达50倍，一些普通的轻元素（如S, Ca, Fe, K, Se)在ICP-MS中有严重的干扰，影响其检出限。表1.12对ICP-MS, ICP-AES, FAAS和GFAAS的性能特点进行比较，表1.13对不同仪器测定元素检出限进行比较。