三甲基氯硅烷无色透明液体。有挥发性，在潮湿空气中易水解而成游离盐酸。这是由于硅-卤键的特殊活泼性，由三甲基氯硅烷出发，可以合成一系列含硅-官能团结构的有机硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等。因此，常常密封于阴凉干燥处保存。因为受热或遇水分解放热，会放出有毒的腐蚀性烟气。具有腐蚀性。因此要谨慎使用。

总而言之，三甲基氯硅烷应当贮于低温通风处，远离火种、热源。与氧化剂、酸碱类等分储分运。当三甲基氯硅烷泄漏时应当迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源，防止进入下水道、排烘沟等限制性空间。小量泄漏：用砂土、干燥石类或苏打灰混合。也可以用不燃性分散剂制面的乳液刷洗，洗液稀释后放入废水系统。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用泡沫覆盖，降低蒸气灾害。用防爆泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。