仪器分析包括的方法十分庞大。这无疑为解决分析问题提供了多种途径，但是也为选择一种合适的分析方法带来一定的困难。为此，在着手进行分析前不仅要了解试样的基本情况及对分析的要求，更重要的是要了解选用分析方法的基本性能指标，如精密度、灵敏度、检出限、线性范围等。

(1) 精密度 仪器的精密度是仪器对同一样品平行测定多次所测得的数据间相互一致性的程度。它是表征仪器测定随机误差大小的一个量。按照国际纯粹与应用化学联合会 (简称IUPAC) 的有关规定，精密度通常用相对标准偏差 (即RSD) 来量度。即使同一仪器，对不同检测项目、浓度水平等，精密度不同。

(2) 灵敏度 仪器的灵敏度是指仪器区别具有微小差异浓度分析物能力的度量。IUPAC的规定，灵敏度的定量定义是校正灵敏度，它是指在测定浓度范围中校正曲线的斜率。在分析化学中使用的许多校正曲线都是线性的，一般是通过测量一系列标准溶液来求得。在有些光谱仪器分析中，有该仪器习惯使用的灵敏度的概念，如在原子吸收光谱法中，常用“特征浓度”即所谓1％净吸收灵敏度来表示。在原子发射光谱法中也常采用相对灵敏度来表示不同元素的分析灵敏度，它是指能检出某元素在试样中的最小浓度。

(3) 检出限 在误差分布遵从正态分布的条件下，由统计的观点出发，可以对检出限作如下的定义：检出限是指能以适当的置信概率被检出的组分的最小量或最小浓度。它是由最小检测信号值导出的。

检出限与灵敏度是密切相关的两个量，灵敏度越高，检出限值越低。但两者的含义是不同的。灵敏度指的是分析信号随组分含量变化的大小，因此，它同检测器的放大倍数有直接的依赖关系，而检出限是指分析方法可能检出的最低量或最低浓度，是与测定噪声直接相联系的，而且具有明确的统计意义。从检出限的定义可以知道，提高测定精密度、降低噪声，可以改善检出限。

(4) 校正曲线的线性范围 线性范围是指从定量测定的最低浓度扩展到校正曲线保持线性浓度的范围。不同仪器线性范围差异较大，如在原子吸收光谱法一般仅1～2两个数量级，而电感耦合等离子体原子发射光谱法可达5～6个数量级。

(5) 分辨率 分辨率是指光谱分析仪器对两相邻谱线分辨的能力。仪器分辨率越高，表明该仪器能很好地将两相邻谱线分离而没有重叠。仪器分辨率主要取决于仪器的分光系统和检测器等。

(6) 选择性 仪器的选择性是指该仪器不受试样基体中所含其它类物质干扰的程度。然而，任何仪器均可能存在其它物质的干扰，一般需要通过特定的方法来克服或校正仪器的干扰。