从1980年发表第一篇关于电感耦合等离子体质谱仪(inductively coupledplasma mass spectrometry，ICP-MS)的里程性文章至今已有30年。1983年第一台商品化ICP-MS面世，迄今该仪器在环境科学、地球科学、生命科学、材料科学、食品科学、石油工业、海洋科学等领域得到了广泛的应用，其检测技术也有了长足的发展。目前，在这些领域的应用大约占了ICP- MS应用的80％以上，已成为公认的最强有力的元素分析技术。

传统的元素分析方法，包括分光光度法、原子吸收光谱法、原子荧光光谱法、电感耦合等离子体发射光谱法等，这些方法都各有其优点，但也有其局限性。例如，或是样品前处理复杂，需萃取、浓缩富集或抑制干扰；或是不能进行多组分或多元素同时测定，耗时费力；或是仪器的检测限或灵敏度达不到指标要求等。

相比于其它痕量金属元素分析技术，ICP- MS有其独特的优势。其以独特的接口技术将ICP-MS的高温(7000K)电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描优点相结合，从而形成一种新型的元素和同位素分析技术。这一技术，几乎可以分析地球上所有元素。ICP-MS技术的分析能力不仅可以取代传统的无机分析技术如AAS、AFS和ICP -AES技术进行半定量、定量分析及同位素比值的准确测量等，还可以与其它技术如色谱、毛细管电泳等联用进行元素的形态、分布特性等分析。

ICP-MS技术是在克服了传统方法中的大多数缺点之后发展起来的更加完善的元素分析法，被认为是当代分析技术的一次重大发展。这一技术已成为当今痕量元素分析、同位素分析、元季形态分析的最强有力武器。图-1给出了原子光谱仪器的应用技术比较。