X射线荧光光谱仪主要包括能量色散x射线荧光(EDXRF)光谱仪和波长色散x射线荧光(WDXRF)光谱仪，目前波长色散X射线荧光(WDXRF)光谱仪由于结构复杂、价格昂贵，只有少数几个国外厂家生产，而能量色散X射线荧光(EDXRF)光谱仪相对来说，生产厂家较多，国外生产厂家主要在日本和欧洲，如荷兰帕纳科公司、日本堀场制作所、Shimadzu Scien-tific Instruments(岛津)、德国斯派克分析仪器公司等，国内也有多家厂家生产。

以下介绍美国热电公司生产的ARL QUANT’X PCD能量色散型X射线荧光光谱仪的技术参数。图10-5为ARL QUANT’X PCD能量色散型X射线荧光光谱仪实物图，表10- 2为该仪器技术指标。