一、 发展历史

X射线荧光光谱仪是基于X射线荧光光谱法而进行分析的一种常用的分析仪器。X射线(又称伦琴射线或X光)是一种波长范围在0．01～10nm之间的电磁辐射形式，是德国科学家伦琴在1895年进行阴极射线的研究时，发现的“一种新的射线”。随后，1896年，法国物理学家乔治(Georges S)发现X射线荧光。

1948年，Friedman和Briks应用盖格计数器研制出波长色散X射线荧光光谱仪，1969年美国海军实验室成功研制第一台能量色散X射线荧光(EI)XRF)光谱仪，自此，X射线荧光光谱法进入蓬勃发展阶段，特别是随着材料科学、电子技术和计算机的飞速发展，X射线荧光分析技术及其软件的不断开发，使得EDXRF光谱仪发展逐步完善，无论是硬件还是软件的开发与波长色散X射线荧光(EDXRF)光谱仪基本同步。

二、特点

① 是一种真正意义上的无损检测方法，具有不污染环境及低耗等优点。被测样品在测量前后，无论其化学成分、重量、形态等都保持不变，特别适合在现场或在线分析，能实时获取多种数据。

② 分析速度快，由于一般无需进行样品预处理，甚至无需样品的制备，X射线荧光光谱仪可以对大量的样品进行快速预筛选分析。一般情况下，检测一个样品需3min左右。

③ 应用范围广。可以同时测定样品中多种元素，元素可检测含量范围从10^-6至100％，广泛用于地质、冶金、化工、材料、石油、医疗、考古等诸多领域，能量色散X射线荧光光谱仪已成为一种强有力的定性和半定量的分析测试技术。EDXRF仪器的发展，使X射线荧光分析方法更为有效，其应用领域更加广泛。

④ X射线荧光光谱仪的不足之处是：分析精度相对较差，一般约为3％～5％。对相当一些元素的测定灵敏度还不能令人满意。