一、主要技术指标

(1) 波长示值误差及波长重复性 与原子吸收分光光度计等光谱仪器一样，ICP光谱仪器谱线的理论波长与仪器波长测定读数的差值称为波长示值误差。但相对来说，ICP光谱仪比原子吸收分光光度计等仪器要求更高的波长准确度，一般波长示值误差应不大于0．05nm，波长重复性应优于0．01nm。

(2) 分辨率与最小光谱带宽 仪器的分辨率，是鉴别仪器对待测光谱线与邻近的其它谱线分辨能力大小的一项重要技术指标。一般可用仪器对某些典型的相邻的谱线分析情况来描述其实际分辨率，如能够清晰分辨开铁元素263．105nm，263．132nm两相邻的谱线，则该仪器的实际分辨率为0．2nm。

最小光谱带宽实际上也是反映仪器的分辨率，最小光谱带宽越小，仪器的分辨率越高。最小光谱带宽一般用锰元素的252．610nm谱线的半峰宽来表示。

(3) 检出限仪器检出限是ICP光谱仪最重要的技术指标，是灵敏度和稳定性的综合性指标。检出限意味着仪器所能检出元素的最低(极限)浓度。一般用代表性元素的空白溶液测定结果标准偏差的3倍对应的浓度作为仪器的检出限。测定次数一般不少于10次。

(4) 精密度(重复性) 重复性反映测量结果的精密度。测量相对标准偏差能较好地反映测量过程的精密度。因此，ICP光谱仪的精密度是用相对标准偏差(RSD)来度量的。通常选取代表性元素在一定浓度水平下多次测定值的相对标准偏差为重复性。

(5) 稳定性 稳定性是指仪器在一段相对长的时间内仪器的灵敏度变化程度。一般用选取代表性元素在一定浓度水平下在一段相对长的时间内间歇性多次测定值的相对标准偏差来表示。与重复性不同的是，稳定性多次测定是持续一段较长时间内间隔15min以上测定下一次；而重复性测试是较短时间内连续多次测定。可以理解为重复性反映仪器的短期稳定性，而稳定性反映仪器的长期稳定性，两者的测定和计算方式类似，一般后者大于前者。

二、几个主要技术指标测试方法

(1) 波长示值误差及波长重复性 与紫外-可见吸收光度计和原子吸收光谱仪类似，ICP光谱仪的波长示值误差及波长重复性测定也是用波长3次重复测量平均值与标准值之差来计算波长示值误差，用3次重复测量极差为波长重复性。有所不同的是，其测定波长方法和选择的代表性元素有些差异。通常ICP仪器波长测定方法为：首先点燃等离子体，将一合适浓度的某元素溶液分别引入等离子体炬焰中，获取该元素特定波长的扫描光谱图，以图示谱线峰值对应的波长作为波长测量值，各谱线分别测量3次，按上述方法计算波长示值误差及波长重复性。

(2) 最小光谱带宽与实际分辨率最小光谱带宽可按以下方法测定：

设定仪器最小狭缝，首先点燃等离子体，将质量浓度约5mg／L的锰溶液引入等离子体炬焰中，获取Mn 252．610nm的谱线，计算其半峰宽。

也可采用下述任一种检定方法检定实际分辨率：

① 将质量浓度约10mg／L的Fe溶液导入等离子体炬焰中，扫描测试获取Fe 263．105nm与Fe 263．132nm的波长扫描图，检查其双线分辨情况；

② 以汞灯作光源，扫描测试获取Hg 313．155nm与Hg 313．184nm的波长扫描图，检查其双线分辨情况。

(3) 代表元素检出限 从不同波段(如低于300nm，300～400nm，高于400nm)各选择一个代表元素在特定波长下进行测定。

在点燃等离子体30min后，用代表元素的标准溶液(含5％盐酸)对仪器进行标准化。然后将空白溶液(如含有5％盐酸的去离子水)导入等离子体炬焰中，连续测量10次，此组数据不得任意取舍或补测。以空白溶液10次测定浓度结果的标准偏差(S)的3倍为元素检出限(DL)。

(4) 仪器短期稳定性 在点燃等离子体30rnin后，进行仪器的标准化，将一定质量浓度(一般为mg／L水平)的各代表元素的溶液导人等离子体炬焰中，连续测量10次，此组数据不得任意取舍或补测。用各元素溶液10次连续测量值的相对标准偏差(RSD))来表示仪器短期稳定性。

(5) 仪器长期稳定性 在点燃等离子体30rnin后，进行仪器的标准化，将一定质量浓度(一般为mg／L水平)的各代表元素的溶液导入等离子体炬焰中，每间隔15min以下测量一次，共计测量6次以上，此组数据不得任意取舍或补测。用多次间隔测量值的相对标准偏差(RSD)表示仪器长期稳定性。长期稳定性的检定与短期稳定性的检定方法基本一致，所不同的是测定间隔时间不同，前者是连续测定，后者间隔15min以上测定下一次，当然，由于时间较长，后者测定的次数可少些。