一、仪器外表擦拭步骤：

1. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭仪器外表，以擦拭其灰尘或油污等，小心注意其仪器外表勿受伤。

2. 再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面。

二、仪器花岗岩表面擦拭步骤：

1. 再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭花岗岩外表面，酒精具挥发性会自然蒸发。

2. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭花岗岩表面，以擦拭其灰尘或测量后机件遗留的油污等。

3. 必要时，可使用花岗岩专用保养油再擦拭。

三、仪器镜面擦拭步骤：

1. 再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。

2. 镜面擦拭可区分成校正玻璃片及镜头内透镜组，由于灰尘粒子会造成成像的黑点，镜面擦拭至为重要，装置后需重新借着影像观察擦拭结果。

3. 先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。

四、仪器传动部分：分干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分。

干磨擦部分保养步骤：

1. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。

2. 也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。

3. 必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。

润滑部分保养步骤：

1. 先用细棉布将灰尘擦拭干净。

2. 润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入。