1.校准项目

电动轮廓仪的校准具体见(JJF 1105-2003)触针式电动轮廓仪校准规范。

校准触针式仪器的室内温度应在(20±3)℃范围内，湿度不超过65%。校准室内应无影响测量的灰尘、振动、噪声、气流、腐蚀性气体和较强磁场。被校仪器及校准用测量设备在室内连续平衡温度的时间不少于4h。校准前，被校仪器连续通电预热时间不少于30 min。

检定项目和检定工具列于表4.3.1中。

2．主要项目的检定方法

(1)残余轮廓

残余轮廓(虚假误差)是由导向基准的偏差、外部与内部的干扰以及轮廓传输中的偏差组成的，又称虚假信号。残余轮廓R_a的允许误差限不超过表4.3.2的规定。

表4.3.2 仪器主要计量特性要求

注：作为校准，不判断合格与否,上述计量特性的指标仅供参考。

(2)示值误差

【要求】示值误差的允许误差限不超过表4.3.2的规定。

【检定方法】用一组多刻线粗糙度样板，在相应量程和取样长度内，分别对其测量，在样板工作区域内的三个不同位置上各测量3次，取其平均值按下式计算仪器的相对示值误差：

式中：R_a为读数平均值；R_a0为多刻线粗糙度标准样板检定值。

(3)仪器示值重复性

【要求】示值重复性的允许误差限不超过表4.3.2的规定。

【检定方法】在小量程、高放大倍数条件下，选用一块相应的多刻线标准样板，在样板某一目定位置测量10次，其最大值和最小值之差与测量平均值的百分比为示值重复性。

(4)传感器滑行轨迹的直线度检定

【要求】直线度不大于0.4um/40min。

【检定方法】检定时将垂直放大率选在10000 x挡，用1级平晶进行测试记录，在传感40 mm行程内按其记录图形评定直线度误差，不大于0.4um。

(5)记录器垂直放大率误差

【要求】不超过±4%。

【检定方法】检定时用一组单刻线样板(或阶梯量块)，在各挡接近满刻度时进行测量记录。在样板工作区域内的三个不同位置上各测三次，取其平均值并按下式计算：

式中：δ_v为垂直放大率误差；H₀为单刻线样板(或阶梯量块)的检定值。

H=H'/K_v

式中：H'为按记录图形测得的位移量(三次平均值)；K_v为垂直放大率的名义值。

(6)记录器水平放大率误差

【要求】不超过±10%。

【检定方法】检定时用单刻线样板的辅助刻线间距对水平放大率各挡进行重复测试，记录3次，取其平均值，按下式计算：

式中：δ_h为水平放大率误差；L₀为单刻线样板上辅助刻线间距的检定值。

L＝L'/K_h

式中：L'为按记录图形辅助刻线的间距；K_h为水平放大率的名义值。

相关链接：影响电动轮廓仪测量精度的主要因素

文章来源：《计量器使用与维护》

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