用立式接触干涉仪检定标称长度为8mm的4等量块，计算其中心长度测量的总不确定度。

按误差源来分析有以下几种误差。

(1)标准量块测量的总不确定度δ₁

检定4等量块，应以3等量块为标准。查表1.4.8，可知标称长度至8mm的3等量块中心长度总不确定度为±0.11um，即

δ₁＝±0.11um

(2)仪器误差δ₂

对于立式接触式干涉仪，说明书中规定了仪器的示值误差为

式中：i为选取的仪器分度值，一般在测量时，取i=0.1um;n为使用分划格数；△A为波长测量误差，按规定△λ＝±0.002um;λ为仪器滤光片波长，取λ＝0.56um。

设被检量块中心长度允许偏差符合2级量块要求，即与标准量块差在±0.5um以内，即n＝5。则有

δ₂＝±0.033um

(3)温度误差δ₃

根据误差分析根据我国量块标准规定△a=±1×10^-6℃^-1；a＝11.5×10^-6℃^-1。检定4等量块(标称长度为8 mm)时温度要求为△t＝±2℃，则有δ₃＝±0.023um

(4)由于量块长度变动量允许偏差而引起的对中误差δ₄

根据误差分析，对中误差为

取而标称长度为8mm的4等量块的长度允许变动量允许偏差h=0.30um，所以

同样，作为标准使用的标称长度为8mm的3等量块也存在由于长度变动量允许偏差而引起的对中误差δ₄，查标准量块长度变动量允许偏差为h_s＝±0.16um，故

将上述误差代入公式得测量标称长度为8 mm的4等量块中心长度的测量总不确定度为

按4等量块测量的总不确定度要求，当标准尺寸为8 mm时，测量的总不确定度要求不大于±0.22um，而经过计算所得测量总不确定度为±0.15um，表示上述测量方法符合要求。

文章来源：《计量器使用与维护》

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